適合于局部表面改性;
零件處理時的變形小;
一般不需特別的冷卻裝置即可獲得足夠的冷卻速度;
不論零件的形狀多么復(fù)雜，凡是能觀察到的區(qū)域就可以進(jìn)行電子束表面強(qiáng)化;
由于電子束的功率參數(shù)、作用時間等規(guī)范參數(shù)可以精確控制，表面層的溫度、強(qiáng)化的深度、加熱和冷卻速度等都可以嚴(yán)格控制;
電子束表面強(qiáng)化在真空中完成，故可以獲得純凈的表面強(qiáng)化層，沒有氧化和氮化過程;
適用于局部易磨損、沖擊、剝蝕、氧化腐蝕及要求特殊性能（局部光敏、熱敏等）的零部件；
可獲得較厚的覆層；
易實現(xiàn)選區(qū)熔覆，而且熱變形小，覆層成分及稀釋率可控；
在經(jīng)濟(jì)上和覆層質(zhì)量上都優(yōu)于傳統(tǒng)的堆焊工藝。
利用降低的單位面積電能使表面極淺（2um）層部分瞬間熔化，照射時間僅為2us；
表面將被非晶化即非定形化，若將這一過程沿著整個表面反復(fù)進(jìn)行就能獲得非常光滑的表面；
所形成的非定形化表面難以產(chǎn)生氧化，不易生銹；
模具的加工面，有電火花加工得到的梨皮面、銑削加工得到的切削面以及磨削面等，現(xiàn)在又增加了一種用特殊電子束照射在數(shù)分鐘內(nèi)就能得到的鏡面。
電子束物理氣相沉積（PED-PVD或數(shù)字涂層）利用脈沖電子蒸發(fā)靶材，在基板和部件上創(chuàng)建復(fù)雜的材料組份；
通常元素采用的是例如金屬和陶瓷形成復(fù)合的材料，作為新材料組合固化在基板和部件上；
它可以通過電子束的脈寬或頻率進(jìn)行精確控制涂層的沉積速率和深層結(jié)構(gòu)；
沉積涂層時，如同時采用多電子槍轟擊不同靶材，該系統(tǒng)可生成梯度涂層組份的功能。
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